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氣體傳感器是氣體檢測系統的核心，通常安裝在探測頭內。從本質(zhì)上講，氣體傳感器是一種將某種氣體體積分數轉化成對應電信號的轉換器。探測頭通過(guò)氣體傳感器對氣體樣品進(jìn)行調理，通常包括濾除雜質(zhì)和干擾氣體、干燥或制冷處理、樣品抽吸，甚至對樣品進(jìn)行化學(xué)處理，以便化學(xué)傳感器進(jìn)行更快速的測量。

    氣體的采樣方法直接影響傳感器的響應時(shí)間。目前，氣體的采樣方式主要是通過(guò)簡(jiǎn)單擴散法，或是將氣體吸入檢測器。

    簡(jiǎn)單擴散是利用氣體自然向四處傳播的特性。目標氣體穿過(guò)探頭內的傳感器，產(chǎn)生一個(gè)正比于氣體體積分數的信號。由于擴散過(guò)程漸趨減慢，所以擴散法需要探頭的位置非常接近于測量點(diǎn)。擴散法的一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是將氣體樣本直接引入傳感器而無(wú)需物理和化學(xué)變換。樣品吸入式探頭通常用于采樣位置接近處理儀器或排氣管道。這種技術(shù)可以為傳感器提供一種速度可控的穩定氣流，所以在氣流大小和流速經(jīng)常變化的情況下，這種方法較值得推薦。將測量點(diǎn)的氣體樣本引到測量探頭可能經(jīng)過(guò)一段距離，距離的長(cháng)短主要是根據傳感器的設計，但采樣線(xiàn)較長(cháng)會(huì )加大測量滯后時(shí)間，該時(shí)間是采樣線(xiàn)長(cháng)度和氣體從泄漏點(diǎn)到傳感器之間流動(dòng)速度的函數。對于某種目標氣體和汽化物，如SiH4以及大多數生物溶劑，氣體和汽化物樣品量可能會(huì )因為其吸附作用甚至凝結在采樣管壁上而減少。

    氣體傳感器是化學(xué)傳感器的一大門(mén)類(lèi)。從工作原理、特性分析到測量技術(shù)，從所用材料到制造工藝，從檢測對象到應用領(lǐng)域，都可以構成獨立的分類(lèi)標準，衍生出一個(gè)個(gè)紛繁龐雜的分類(lèi)體系，尤其在分類(lèi)標準的問(wèn)題上目前還沒(méi)有統一，要對其進(jìn)行嚴格的系統分類(lèi)難度頗大。

    1 主要特性

    1.1 穩定性

    穩定性是指傳感器在整個(gè)工作時(shí)間內基本響應的穩定性，取決于零點(diǎn)漂移和區間漂移。零點(diǎn)漂移是指在沒(méi)有目標氣體時(shí)，整個(gè)工作時(shí)間內傳感器輸出響應的變化。區間漂移是指傳感器連續置于目標氣體中的輸出響應變化，表現為傳感器輸出信號在工作時(shí)間內的降低。理想情況下，一個(gè)傳感器在連續工作條件下，每年零點(diǎn)漂移小于10%。

    1.2  靈敏度

    靈敏度是指傳感器輸出變化量與被測輸入變化量之比，主要依賴(lài)于傳感器結構所使用的技術(shù)。大多數氣體傳感器的設計原理都采用生物化學(xué)、電化學(xué)、物理和光學(xué)。首先要考慮的是選擇一種敏感技術(shù)，它對目標氣體的閥限制(TLV-thresh-old limit value)或最低爆炸限(LEL-lower explosive limit)的百分比的檢測要有足夠的靈敏性。

    1.3選擇性

    選擇性也被稱(chēng)為交叉靈敏度?？梢酝ㄟ^(guò)測量由某一種濃度的干擾氣體所產(chǎn)生的傳感器響應來(lái)確定。這個(gè)響應等價(jià)于一定濃度的目標氣體所產(chǎn)生的傳感器響應。這種特性在追蹤多種氣體的應用中是非常重要的，因為交叉靈敏度會(huì )降低測量的重復性和可靠性，理想傳感器應具有高靈敏度和高選擇性。

    1.4抗腐蝕性

    抗腐蝕性是指傳感器暴露于高體積分數目標氣體中的能力。在氣體大量泄漏時(shí)，探頭應能夠承受期望氣體體積分數10~20倍。在返回正常工作條件下，傳感器漂移和零點(diǎn)校正值應盡可能小。

    氣體傳感器的基本特征，即靈敏度、選擇性以及穩定性等，主要通過(guò)材料的選擇來(lái)確定。選擇適當的材料和開(kāi)發(fā)新材料，使氣體傳感器的敏感特性達到最優(yōu)。

    2  主要原理及分類(lèi)

    通常以氣敏特性來(lái)分類(lèi)，主要可分為：半導體型氣體傳感器、電化學(xué)型氣體傳感器、固體電解質(zhì)氣體傳感器、接觸燃燒式氣體傳感器、光化學(xué)型氣體傳感器、高分子氣體傳感器等。

    2.1  半導體氣體傳感器

    半導體氣體傳感器是采用金屬氧化物或金屬半導體氧化物材料做成的元件，與氣體相互作用時(shí)產(chǎn)生表面吸附或反應，引起以載流子運動(dòng)為特征的電導率或伏安特性或表面電位變化。這些都是由材料的半導體性質(zhì)決定的。

    自從1962年半導體金屬氧化物陶瓷氣體傳感器問(wèn)世以來(lái)，半導體氣體傳感器已經(jīng)成為當前應用最普遍、最具有實(shí)用價(jià)值的一類(lèi)氣體傳感器，根據其氣敏機制可以分為電阻式和非電阻式兩種。

    電阻式半導體氣體傳感器主要是指半導體金屬氧化物陶瓷氣體傳感器，是一種用金屬氧化物薄膜(例如：Sn02，ZnO Fe203，Ti02等)制成的阻抗器件，其電阻隨著(zhù)氣體含量不同而變化。氣味分子在薄膜表面進(jìn)行還原反應以引起傳感器傳導率的變化。為了消除氣味分子還必須發(fā)生一次氧化反應。傳感器內的加熱器有助于氧化反應進(jìn)程。它具有成本低廉、制造簡(jiǎn)單、靈敏度高、響應速度快、壽命長(cháng)、對濕度敏感低和電路簡(jiǎn)單等優(yōu)點(diǎn)。不足之處是必須工作于高溫下、對氣味或氣體的選擇性差、元件參數分散、穩定性不夠理想、功率要求高.當探測氣體中混有硫化物時(shí)，容易中毒?，F在除了傳統的SnO，Sn02和Fe203三大類(lèi)外，又研究開(kāi)發(fā)了一批新型材料，包括單一金屬氧化物材料、復合金屬氧化物材料以及混合金屬氧化物材料。這些新型材料的研究和開(kāi)發(fā)，大大提高了氣體傳感器的特性和應用范圍。另外，通過(guò)在半導體內添加Pt，Pd，Ir等貴金屬能有效地提高元件的靈敏度和響應時(shí)間。它能降低被測氣體的化學(xué)吸附的活化能，因而可以提高其靈敏度和加快反應速度。催化劑不同，導致有利于不同的吸附試樣，從而具有選擇性。例如各種貴金屬對Sn02基半導體氣敏材料摻雜，Pt，Pd，Au提高對CH4的靈敏度，Ir降低對CH4的靈敏度；Pt，Au提高對H2的靈敏

    度，而Pd降低對H2的靈敏度。利用薄膜技術(shù)、超粒子薄膜技術(shù)制造的金屬氧化物氣體傳感器具有靈敏度高(可達10-9級)、一致性好、小型化、易集成等特點(diǎn)。

    非電阻式半導體氣體傳感器是MOS二極管式和結型二極管式以及場(chǎng)效應管式(MOSFET)半導體氣體傳感器。其電流或電壓隨著(zhù)氣體含量而變化，主要檢測氫和硅燒氣等可燃性氣體。其中，MOSFET氣體傳感器工作原理是揮發(fā)性有機化合物(VOC)與催化金屬(如鈕)接觸發(fā)生反應，反應產(chǎn)物擴散到MOSFET的柵極，改變了器件的性能。通過(guò)分析器件性能的變化而識別VOC。通過(guò)改變催化金屬的種類(lèi)和膜厚可優(yōu)化靈敏度和選擇性，并可改變工作溫度。MOSFET氣體傳感器靈敏度高，但制作工藝比較復雜，成本高。

    2.2  電化學(xué)型氣體傳感器

    電化學(xué)型氣體傳感器可分為原電池式、可控電位電解式、電量式和離子電極式四種類(lèi)型。原電池式氣體傳感器通過(guò)檢測電流來(lái)檢測氣體的體積分數，市售的檢測缺氧的儀器幾乎都配有這種傳感器，近年來(lái)，又開(kāi)發(fā)了檢測酸性氣體和毒性氣體的原電池式傳感器?？煽仉娢浑娊馐絺鞲衅魇峭ㄟ^(guò)測量電解時(shí)流過(guò)的電流來(lái)檢測氣體的體積分數，和原電池式不同的是，需要由外界施加特定電壓，除了能檢測CO，NO，N02，02，S02等氣體外，還能檢測血液中的氧體積分數。電量式氣體傳感器是通過(guò)被測氣體與電解質(zhì)反應產(chǎn)生的電流來(lái)檢測氣體的體積分數。離子電極式氣體傳感器出現得較早，通過(guò)測量離子極化電流來(lái)檢測氣體的體積分數已電化學(xué)式氣體傳感器主要的優(yōu)點(diǎn)是檢測氣體的靈敏度高、選擇性好。

    2.3固體電解質(zhì)氣體傳感器

    固體電解質(zhì)氣體傳感器是一種以離子導體為電解質(zhì)的化學(xué)電池。20世紀70年代開(kāi)始，固體電解質(zhì)氣體傳感器由于電導率高、靈敏度和選擇性好，獲得了迅速的發(fā)展，現在幾乎應用于環(huán)保、節能、礦業(yè)、汽車(chē)工業(yè)等各個(gè)領(lǐng)域，其產(chǎn)量大、應用廣，僅次于金屬氧化物半導體氣體傳感器。近來(lái)國外有些學(xué)者把固體電解質(zhì)氣體傳感器分為下列三類(lèi)：

    1)材料中吸附待測氣體派生的離子與電解質(zhì)中的移動(dòng)離子相同的傳感器，例如氧氣傳感器等。

    2)材料中吸附待測氣體派生的離子與電解質(zhì)中的移動(dòng)離子不相同的傳感器，例如用于測量氧氣的由固體電解質(zhì)SrF2H和Pt電極組成的氣體傳感器。

    3)材料中吸附待測氣體派生的離子與電解質(zhì)中的移動(dòng)離子以及材料中的固定離子都不相同的傳感器，例如新開(kāi)發(fā)高質(zhì)量的C02固體電解質(zhì)氣體傳感器是由固體電解質(zhì)NASICON(Na3Zr2Si2P012)和輔助電極材料Na2CO3-BaC03或Li2C03-CaC03，Li2C03- BaC03組成的。